集成電路芯片用純水設備
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導體(ti)、集成電(dian)路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板(ban)、光電(dian)器件、各種電(dian)子(zi)器件、微電(dian)子(zi)工業、大(da)規模(mo)、大(da)規模(mo)集成電(dian)路需用(yong)大(da)量的(de)純水、高純水、超純水清洗半成品(pin)、成品(pin)。集成電(dian)路的(de)集成度高,線寬窄,對水質的(de)要求(qiu)也越(yue)高。目前我國電(dian)子(zi)工業部把電(dian)子(zi)級水質技術分(fen)為五個(ge)行業等級,分(fen)別(bie)為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以(yi)區分不同水質。
1、系統采用新(xin)水處理技(ji)術(shu)雙(shuang)級RO+EDI+混床模(mo)塊化設(she)計,嚴格按新(xin)技(ji)術(shu)設(she)計標準,確(que)保水質(zhi)穩(wen)定(ding),長效運行。
2、通過專業技(ji)術設計,確保系統短時(shi)停(ting)(ting)機及長時(shi)間停(ting)(ting)機時(shi)水(shui)質保持穩定。
3、通(tong)過專業(ye)技術(shu)保證終端出水(shui)恒(heng)壓、水(shui)質(zhi)穩(wen)定。
4、通過完善的技術大限度的提高(gao)系統回收率,降低能耗和(he)運行成本。
5、采(cai)用海(hai)德能(neng)ESPA2超低壓(ya)膜,運(yun)行穩定,能(neng)耗(hao)低。
6、采用PH調節系統以(yi)確保(bao)水(shui)(shui)溫下(xia)降(jiang)或原(yuan)水(shui)(shui)PH值偏低時EDI出水(shui)(shui)水(shui)(shui)質。
7、配備專(zhuan)門的有(you)化學(xue)清(qing)洗系統,可(ke)定(ding)期(qi)對反滲透進行化學(xue)清(qing)洗,以確保(bao)系統穩定(ding)運行。
8、配備(bei)濃(nong)水置(zhi)換專業技術(shu),防(fang)止膜系統受(shou)到(dao)微生物(wu)污染。
9、EDI及后段出水(shui)(shui)采用超純水(shui)(shui)專用管道,大限度的保證出水(shui)(shui)水(shui)(shui)質。
10、EDI水箱采(cai)用氮封裝置,以確保終端水質穩定及(ji)延長(chang)核能混(hun)床(chuang)壽命。
11、采用PLC加觸摸屏(ping)控制(zhi)系(xi)統(tong),并采用進口電(dian)氣原件,操作方便,運行穩定。
12、電子半導體行業(ye)(ye)用(yong)(yong)超純水設備主(zhu)體材料(liao)全部采用(yong)(yong)行業(ye)(ye)內國際知名品牌(pai),保質保量,并按配(pei)置設計。