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硅片清洗水處理

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善居環保
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基本情況


微量污(wu)染(ran)也會導致器(qi)件(jian)失效。清(qing)洗的目的在于清(qing)除表(biao)面污(wu)染(ran)雜(za)(za)質,包括(kuo)(kuo)有(you)機(ji)(ji)(ji)物(wu)和(he)無機(ji)(ji)(ji)物(wu)。這些雜(za)(za)質有(you)的以原子(zi)狀態(tai)或(huo)離子(zi)狀態(tai),有(you)的以薄膜形式(shi)(shi)或(huo)顆粒形式(shi)(shi)存在于硅(gui)片表(biao)面。有(you)機(ji)(ji)(ji)污(wu)染(ran)包括(kuo)(kuo)光刻膠、有(you)機(ji)(ji)(ji)溶劑殘(can)留物(wu)、合成蠟和(he)人(ren)接觸器(qi)件(jian)、工具、器(qi)皿帶(dai)來的油脂或(huo)纖維。無機(ji)(ji)(ji)污(wu)染(ran)包括(kuo)(kuo)重金屬金、銅(tong)、鐵、鉻等,嚴重影響(xiang)少數載流子(zi)壽命和(he)表(biao)面電導;堿金屬如鈉等,引(yin)起嚴重漏電;顆粒污(wu)染(ran)包括(kuo)(kuo)硅(gui)渣、塵埃、細菌、微生物(wu)、有(you)機(ji)(ji)(ji)膠體纖維等,會導致各種缺(que)陷。


工藝流程圖



方案優勢


1、主(zhu)要零部件均采用(yong)世界名(ming)牌産品(pin),經CAD設(she)計,技術先(xian)進,性能(neng)可靠、産水性能(neng)優良。

2、前置(zhi)預處理保護(hu)裝(zhuang)置(zhi),確保高壓泵及反滲(shen)透膜(mo)不受(shou)硬(ying)物(wu)損壞。

3、脫鹽率高,運(yun)行壓力低(di)的卷式復合(he)膜提(ti)高了(le)系統(tong)效(xiao)率,并除低(di)了(le)運(yun)行成(cheng)本(ben)。

4、産品(pin)濃縮水(shui)(shui)各設有(you)流量計,以監(jian)視并調節運行出水(shui)(shui)量及系(xi)統回收(shou)率。

  5、在線電導(dao)儀表連(lian)續監測産(chan)品水質,帶有(you)設定值(zhi)和報警。

6、進(jin)水(shui)及(ji)排(pai)水(shui)系統壓(ya)力表監(jian)測(ce)反滲透壓(ya)差,提示清洗時(shi)間,全面的(de)系統監(jian)視,自動的(de)儀表顯(xian)示。

7、靈敏的(de)(de)高壓(ya)、低壓(ya)開關;防止在異常狀(zhuang)況下(xia)對設備的(de)(de)損壞,確保(bao)系統的(de)(de)正常運轉。

8、硅材料清洗用(yong)超純水處理設備采用(yong)先進的膜(mo)(mo)保護系統(tong)定時沖(chong)洗膜(mo)(mo)表面,降低污染(ran)速度(du),延長膜(mo)(mo)使用(yong)壽命。

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